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全球芯片圈又地震了。近期，美国两党议员联合抛出的一纸MATCH法案，不光要禁售DUV光刻机给中国，连已经卖出去的那些设备的成熟制程用的关键设备、低温蚀刻机这些也全算进去，要求荷兰等盟友在150天内实施同等禁令，禁令一出，荷兰这边立刻做出一定的反应，4月7日，荷兰ASML公司股价开盘直接跳水近5%，上千亿市值瞬间蒸发。
我们知道，全球光刻机的厂商主要是荷兰ASML，日本的尼康、佳能，以及中国大陆的上海微电子。ASML一家独大，份额高达85%，佳能大约是10%，尼康是5%，上海微电子的份额为0.2%。
能造极紫外线EUV光刻机的，只此一家，别无分号。过去几年，美国逼着荷兰政府卡住了最先进的EUV对华出口，后来2023年10月17日又升级规则，扩大到人工智能芯片和更多工具，把ASML的NXT:1970Ci这种相对先进的DUV型号直接禁了，但相对老一点的DUV设备，中国还能买。
现在美国把所有光刻机的采购路子全部要堵死。所有的DUV浸没式光刻机，不光不让卖新机器，连售后维保都要断。美国认为，中国7nm芯片现在主要是用以前买的设备做出来的，光刻机是精密绝伦的设备，没有原厂工程师定期维护、更换零件，中国DUV坏了不能修，那么坏一台少一台，中国现有的DUV只能越用越少，芯片产能也只能收缩。
可以说美国算盘打得好，但ASML自己心里苦，ASML公司拒绝置评，因为中国过去是ASML光刻机最大的买家，这还是在EUV被完全限制的情况下，ASML官方预测，2026年中国市场营收占比将从2025年的33%降至20%左右。一旦新法案落地，这20%将直接归零。
比利时分析师罗格说法案可能会引起ASML销售额出现个位数的下跌。但摩根大通的分析师Sandeep Deshpande显然更悲观，认为若法案通过，ASML的每股盈利 (EPS) 可能减少高达10%。他同时指出，即使别的地方销售额大幅度增长，也无法完全抵消中国市场的损失。
德什潘德甚至还认为会出现连锁反应。现在全球芯片产能本来就绷得紧，如果限制落地，中国芯片厂产能被压，全球芯片荒立刻就得重演。
事实上，中企在2023年底就囤够了，根据2023年的数据，当时中国有1400台光刻机，2024年上半年进口额还几百亿欧元，第三季度从ASML拿了34亿欧元的货，确保产能短期没问题。
2025年，中国买走的光刻机金额高达80.1亿欧元，合计占到所有光刻机销售的33%。
荷兰媒体曾爆料，中国已经囤了足够的DUV光刻机，用5~10年都没问题，也就从另一方面代表着，即便ASML一台不卖，中国的存量也够用了。
其次，从当前的现在的状况来看，维修卡不了中国的脖子，因为中国对美国这一后手早有准备，很多年前就已经在通过本土维修破局，生产光学元件这些易损件，少靠ASML。许多晶圆厂开始研究延长设备寿命的方案，工程团队尝试升级子系统组件，例如控制模块和传感装置。一些零部件通过拆机渠道获得，也有第三方维修团队参与，这个新生态正在形成。
拿精密光学镜头与激光功率补偿模块来说，这些曾被认为只有西方能生产的核心部件，在2026年3月的中国半导体设备展会上，已经有多家国产厂商拿出了能够适配存量机器的成熟产品。
此外像光刻胶的装载玻璃瓶，这种瓶子一定要保证内部液体在储存中绝对不受污染。以往这种特殊的包装物几乎全依赖进口。但在2026年初，国产高性能包装容器已攻克了难关，实现了大规模量产，这在某种程度上预示着中国的半导体产业链已进入全方位“补齐”的阶段。
在接下来这5~10年内，是中国自主全力攻克浸润式DUV光刻机的关键时间窗口。
目前我国在28nm及以下的核心设备方面已取得决定性进展，国产28nm DUV光刻机核心参数对标ASML主流产品，而且国产设备的替代速度也在加快，阿斯麦的报告数据显示，中国对进口设备还有依赖，但像SSA600这种国产设备已经能用在90纳米的生产线种半导体设备出口后，国内刻蚀、薄膜沉积等核心设备的国产替代率已从2025年的25% 提升至35%。
按照我们的进度，5~10年后，中国国产浸润式DUV光刻机大概率已经实现量产了。
其次浙江大学研发团队此前推出我国首台国产商业电子束光刻机，命名为“羲之”， 精度0.6nm，线nm，用电子束在芯片上刻写电路。
美国现在把管制范围扩大到DUV，将推动这一进程加速。美国要彻底封堵中国芯片产业的发展，但同时也是隔山打牛，把ASML架在火上烤了。对ASML而言，光刻机是它的立身之本，但同时它作为美国盟友体系里无法替代的技术节点，要对中国这个全球最大的光刻机市场卡脖子，可以说进退两难。从EUV到DUV，美国的封锁线在不断下移，每一击都打在中国身上，痛在ASML的心里，从卡脖子慢慢变成掐气管了。
DUV光刻机只是中国光刻机产业链发展的第一步，如今国内已有多家科研机构和企业针对次时代技术开始布局。例如，某光学研究所正在自主研发EUV光源模拟器，11亿元产线已试运行，虽然与ASML的商用标准尚有差距，但已足够支撑原型机通过关键测试。另一家设备厂商则通过从国际市场引进顶尖研发人员，搭建了完整的投影物镜研究团队。